亚舍立科技 Axcelis Technologies, Inc.(NASDAQ:ACLS)创立于1995年，渊源可追溯至1978年成立的 Nova Associates，总部位于美国马萨诸塞州贝弗利，全职雇员1,221人，是全球半导体离子注入设备领域的领先企业，设计、制造并服务半导体制造用资本设备，产品销往美国、欧洲和亚洲，应用覆盖存储器、先进逻辑、图像传感器和功率器件。
亚舍立科技 Axcelis Technologies, Inc.(ACLS)美股百科
Axcelis 的业务可以追溯到 1978 年成立的 Nova Associates，后者立志研制首台高电流生产型离子注入系统；公司 1995 年在伊顿旗下注册成立，2000 年 7 月首次公开募股，同年 12 月伊顿分派剩余股份后成为独立上市公司。此后公司一直专注离子注入这一个环节，旗舰 Purion 平台覆盖高电流、中电流、中能量和高能量全部主流注入类型，并通过与住友重机械的合资公司 SEN 覆盖日本市场。除了卖设备，公司还靠客户支持与服务业务为已装机设备提供维护、升级和备件，这块业务在 2025 年第四季度创下单季纪录。如今公司正推进与 Veeco 的全股票合并，合并后公司仍将以贝弗利为总部。
Axcelis Technologies, Inc.产品和服务包括：
- Purion H 系列高电流离子注入机：以 Purion H6 为代表的下一代高电流注入机，采用扫描点束架构，面向全部高电流应用，可定制能量与剂量，服务于需要浅层高剂量掺杂的逻辑、先进存储器、图像传感器和成熟工艺芯片制造商。
- Purion M 系列中电流离子注入机：采用 Purion 平台扫描点束架构的中电流注入机，服务于中电流注入应用，强调灵活性与可扩展性，用于阱、沟道和源漏结等多种中电流工艺的晶圆厂。
- Purion H200 中能量离子注入机：面向中等能量注入的 Purion 平台机型，强调高精度与高产能，另有面向碳化硅功率器件的 Purion H200 Power Series 与 Power Series+ 版本。
- Purion XE 系列高能量离子注入机：基于射频直线加速器束线的行业标准高能量注入机，最高产能可达每小时 500 片晶圆，具体型号包括能量高达 4.5 兆电子伏的 Purion XE、5.25 兆电子伏的 Purion EXE、8 兆电子伏的 Purion VXE、15 兆电子伏的 Purion XEmax，以及面向大批量功率器件铝注入与 150 毫米碳化硅晶圆处理的 Purion XE Power Series+，主要用于深层掺杂和图像传感器等超高能量应用。
- 半导体固化系统：用于半导体芯片制造过程中的固化工艺设备，与离子注入系统一同服务于晶圆厂的芯片制造环节。
- 客户支持与服务：以 Customer Solutions and Innovation 组织面向已安装 Axcelis 离子注入系统的晶圆厂客户，提供计划与非计划维护、按规格的工具性能保障、全面投资保护，以及备件、平台升级、操作培训和安装等售后服务，帮助客户延长设备寿命、提高投资回报。
2025 年，亚舍立科技营收为 8.3905 亿美元，较 2024 年的 10.18 亿美元下降 17.57%，营业利润为 1.1931 亿美元，净利润为 1.2024 亿美元，每股摊薄收益为 3.80 美元，调整后息税折旧摊销前利润为 1.77 亿美元，全年自由现金流为 1.07 亿美元，年末现金、现金等价物与有价证券合计 5.57 亿美元；其中第四季度营收为 2.38 亿美元，客户支持与服务业务营收创下单季 8,200 万美元的纪录。公司 2023 年营收曾创下 11.31 亿美元的纪录，管理层预计 2026 年总营收与 2025 年大体持平，存储器业务的增长将抵消功率器件与通用成熟市场的下滑。
亚舍立科技 Axcelis Technologies, Inc.(ACLS)历史百科
- 1978年，前身 Nova Associates 成立，目标是研制首台高电流生产型离子注入系统。
- 1983年，与住友重机械工业成立各持股 50% 的合资公司 Sumitomo Eaton Nova Corporation（SEN），负责日本市场的离子注入技术销售与服务。
- 1995年，Axcelis Technologies, Inc. 在伊顿旗下注册成立。
- 2000年7月，公司首次公开募股，约 18% 的股份上市。
- 2000年12月29日，伊顿向股东分派所持约 82% 的股份，完成分拆，公司成为独立上市公司。
- 2012年12月4日，公司决定退出干法剥离业务，将相关知识产权与技术（含 Integra 产品线先进非氧化工艺技术）剥离给 Lam Research，并继续出货 300 毫米干法剥离产品至 2013 年 8 月。
- 2013年3月，Purion M 中电流注入机获全球领先芯片制造商选用，用于下一代存储器与闪存器件的开发和制造。
- 2013年4月30日，公司推出 Purion XE 高能量离子注入机，把 Purion 平台扩展至高能量领域。
- 2015年，公司以售后回租协议出售总部。
- 2023年4月，公司宣布交付第 500 台 Purion 离子注入机。
- 2025年10月1日，公司与 Veeco Instruments 达成全股票合并协议，合并后企业价值约 44 亿美元，Axcelis 股东约占 58%、Veeco 股东约占 42%。
- 2026年，两家公司股东均批准合并方案，交易仍待中国市场监管总局批准等交割条件，预计 2026 年下半年完成。
亚舍立科技 Axcelis Technologies, Inc.(ACLS)美股投资
参考资料：Axcelis Technologies 官网、Axcelis Technologies 行情走势、SEC.GOV、Wikipedia
